透明電極

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998002818
Publication number (International publication number)：1999202352
Application date： Jan. 09, 1998
Publication date： Jul. 30, 1999
Summary：

【要約】【課題】ガラス基板と液晶に挟まれた構成においても、優れた透過率と低い面積抵抗値を併せ持つ透明電極を提供する。【解決手段】酸化物薄膜と銀系薄膜とを積層した多層膜よりなる透明電極において、?@前記多層膜が、下側酸化物薄膜と、銀系薄膜と、中間酸化物薄膜と、銀系薄膜と、上側酸化物薄膜とを順次積層した5層構成の多層膜であり、?A前記酸化物薄膜が、各々、2種以上の金属酸化物よりなる混合酸化物であり、?B前記銀系薄膜が、各々、3at%(原子パーセント)以下の金、銅を含有する銀合金であり、?C前記中間酸化物薄膜の膜厚を、前記上側酸化物薄膜の膜厚より厚くした、以上?@、?A、?Bおよび?Cの要件を満たすことを特徴とする透明電極。

Claim (excerpt)：

酸化物薄膜と銀系薄膜とを積層した多層膜よりなる透明電極において、?@前記多層膜が、下側酸化物薄膜と、銀系薄膜と、中間酸化物薄膜と、銀系薄膜と、上側酸化物薄膜とを順次積層した、5層構成の多層膜であり、?A前記酸化物薄膜が、各々、2種以上の金属酸化物よりなる混合酸化物であり、?B前記銀系薄膜が、各々、3at%(原子パーセント)以下の金、銅を含有する銀合金であり、?C前記中間酸化物薄膜の膜厚を、前記上側酸化物薄膜の膜厚より厚くした、以上?@、?A、?Bおよび?Cの要件を満たすことを特徴とする透明電極。

IPC (5)：

G02F 1/1343 , G09F 9/30 336 , H01B 5/14 , H01L 21/28 301 , C23C 14/08

FI (5)：

G02F 1/1343 , G09F 9/30 336 , H01B 5/14 A , H01L 21/28 301 Z , C23C 14/08 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

透明導電膜付き基体とその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-107334 Applicant：旭硝子株式会社
透明導電膜およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-190480 Applicant：出光興産株式会社
表示装置用電極基板
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-119065 Applicant：凸版印刷株式会社

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