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J-GLOBAL ID：200903057625091915

外観検査装置および外観検査方法

Inventor： サイ ベンジャミン ,  中村 豊一
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 渡辺 喜平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997260681
Publication number (International publication number)：1999101619
Application date： Sep. 25, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】 高速分解能で外観検査を行うこと,長期にわたって品質を保証することおよび良好な検出感度を得ることを可能とする。【解決手段】 検査対象Sを照明するためのレーザーユニット2aを有しこのレーザーユニット2aからのレーザー光aを一次元的に拡散する照明器ユニット2と、この照明器ユニット2によって照明される検査対象Sを二次元像として拡大する顕微鏡3と、この顕微鏡3による二次元像の拡散照射面に対応する一次元像を検出するセンサー6とを備えた構成としてある。

Claim (excerpt)：

検査対象を照明するためのビーム光源を有し、このビーム光源からのビーム光を一次元的に拡散する照明器ユニットと、この照明器ユニットによって照明される検査対象を二次元像として拡大する顕微鏡と、この顕微鏡による二次元像の拡散照射面に対応する一次元像を検出するセンサーとを備えたことを特徴とする外観検査装置。

IPC (2)：

G01B 11/24 ,  G06T 1/00

FI (3)：

G01B 11/24 K ,  G01B 11/24 F ,  G06F 15/62 380

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• パターン検出方法とその装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-185234   Applicant：株式会社日立製作所
• 検出光学系並びに立体形状検出方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-134668   Applicant：株式会社日立製作所
• 特開昭61-288143