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J-GLOBAL ID：200903057859206856

圧電振動子の製造方法

Inventor：
池田 龍夫

About 池田 龍夫


Applicant, Patent owner：
セイコーエプソン株式会社

About セイコーエプソン株式会社


Agent (1)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999117959
Publication number (International publication number)：2000307368
Application date： Apr. 26, 1999
Publication date： Nov. 02, 2000
Summary：
【要約】【課題】 気密性の高い圧電振動子を作業性良く製造するための圧電振動子の製造方法を提供すること。【解決手段】 圧電振動子片を搭載したベース1と、この圧電振動子片3を内部に収容するようにして、前記ベースに固定される蓋体6とでパッケージを形成する圧電振動子の製造方法であって、前記パッケージの一部に所定の内径を備えた第1の穴21と、これより大きな内径を備える第2の穴22を備えた段付きの開口部を設け、真空雰囲気中において、この開口部に前記開口部の第1の穴径よりも大きく第2の穴の穴径よりも小さな外形を備えた封止材9を適用し、この封止材9に対して封止用ビームを照射する。
Claim (excerpt)：
圧電振動子片を搭載したベースと、この圧電振動子片を内部に収容するようにして、前記ベースに固定される蓋体とでパッケージを形成する圧電振動子の製造方法であって、前記パッケージの一部に所定の内径を備えた第1の穴と、これより大きな内径を備える第2の穴を備えた段付きの開口部を設け、真空雰囲気中において、この開口部に前記開口部の第1の穴径よりも大きく第2の穴の穴径よりも小さな外形を備えた封止材を適用し、この封止材に対して封止用ビームを照射することを特徴とする、圧電振動子の製造方法。
IPC (5)：
H03H 3/04 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/215 ,  H01L 23/02
FI (5)：
H03H 3/04 B ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/215 ,  H01L 23/02 B
F-Term (18)：
5J108AA02 ,  5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108GG03 ,  5J108GG09 ,  5J108GG15 ,  5J108GG16 ,  5J108GG20 ,  5J108KK04 ,  5J108KK05 ,  5J108KK06 ,  5J108MM02 ,  5J108NA03 ,  5J108NB04 ,  5J108NB05
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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