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J-GLOBAL ID：200903058231482044

電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体

Inventor：
高木 成宣

About 高木 成宣


Applicant, Patent owner：
株式会社キーエンス

About 株式会社キーエンス


Agent (1)： 豊栖 康司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002108932
Publication number (International publication number)：2003303567
Application date： Apr. 11, 2002
Publication date： Oct. 24, 2003
Summary：
【要約】【課題】 電子顕微鏡の操作において最適な像観察条件を容易に探し出せるようにする。【解決手段】 像観察条件として、少なくとも試料上の電子線のスポットサイズ、加速電圧、検出器の種類、試料の位置、観察倍率を設定して観察像を撮像するステップと、観察像に基づいて、複数の異なる像観察条件を自動で設定するステップと、設定された像観察条件に基づいて複数の観察像を撮像するステップと、観察像取得手段にて撮像された複数の観察像を第2表示部に同時に表示するステップと、第2表示部において複数表示された観察像から所望の観察像を選択するステップと、選択された観察像を拡大して第1表示部に表示するステップとを備える。
Claim (excerpt)：
所定の像観察条件に基づいて、電子銃に加速電圧を印加して加速電子を試料に照射し、前記試料から放出される二次電子または反射電子を1以上の検出器で検出することで観察像を撮像する電子顕微鏡であって、一の像観察条件で撮像された観察像に対して、複数の異なる像観察条件を設定する像観察条件設定手段と、前記像観察条件設定手段で設定された像観察条件に基づいて複数の観察像を撮像する観察像取得手段と、前記観察像取得手段にて撮像された複数の観察像を同時に表示可能な第2表示部と、前記第2表示部にて表示された観察像から所望の観察像を選択する観察像選択手段と、前記観察像選択手段によって選択された観察像を拡大して表示可能な第1表示部と、を備えることを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2)：
H01J 37/28 ,  H01J 37/22 502
FI (2)：
H01J 37/28 B ,  H01J 37/22 502 A
F-Term (1)：
5C033UU06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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