静圧磁気複合軸受およびスピンドル装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：野田雅士 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998097505
Publication number (International publication number)：1999013759
Application date： Apr. 09, 1998
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】静圧軸受の優れた動剛性および回転精度と磁気軸受の優れた静剛性とを併せ持ち、コンパクト化が図れる静圧磁気複合軸受およびスピンドル装置を提供する。【解決手段】静圧軸受9と磁気軸受8とを一体化した静圧磁気複合軸受3とする。この静圧磁気複合軸受3とビルトイン型のモータ5とを組み合わせてスピンドル装置1とする。静圧磁気複合軸受3は、磁気軸受8のステータコア13の内部に、静圧軸受9の給気通路および自成絞り15を設ける。これにより、磁気軸受8と静圧軸受9の部品を兼用させると共に、静圧の軸受隙間dと磁気のギャップとを共用させ、コンパクト化を図る。この静圧磁気複合軸受は、ラジアル軸受の他にアキシャル軸受にも適用できる。

Claim (excerpt)：

磁気軸受の電磁石のコア内に、静圧気体軸受の軸受隙間へ給気する絞りを形成した静圧磁気複合軸受。

IPC (3)：

F16C 32/00 , F16C 32/04 , B23B 19/02

FI (3)：

F16C 32/00 C , F16C 32/04 A , B23B 19/02 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (8)

スラスト磁気軸受装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-350990 Applicant：株式会社荏原製作所
特開平3-213718
磁気軸受装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-030082 Applicant：株式会社荏原製作所

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