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J-GLOBAL ID：200903059764342011

AC型プラズマディスプレイパネル用基板、その製造方法、AC型プラズマディスプレイパネル、その製造方法、及びAC型プラズマディスプレイ装置

Inventor：
原田 茂樹

About 原田 茂樹

, 
岩田 明彦

About 岩田 明彦


Applicant, Patent owner：
三菱電機株式会社

About 三菱電機株式会社


Agent (1)： 吉田 茂明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998335974
Publication number (International publication number)：2000164136
Application date： Nov. 26, 1998
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：
【要約】【課題】 誘電体の保護層である酸化マグネシウム(MgO)の表面を清浄な状態に保つことによって、製造プロセスを簡略化し、かつ放電の安定性に優れたプラズマディスプレイパネルを得る。【解決手段】 誘電体11の表面に第1保護層としてのMgO膜12を成膜した後、MgO膜12を大気に曝す前に、大気中においてMgOよりも化学的に安定で、MgOよりも放電によるスパッタに弱く、且つ可視光線と紫外線とが透過し得るという物性的な条件を満たす第2保護層13を、MgO膜12の表面上に成膜する。その後、パネルを封着し、パネル内に放電用ガスを封入した上でエージングを行い、放電によるスパッタによって陰極領域から第2保護層13を除去し、MgO膜12の表面を放電空間3に露出させる。
Claim (excerpt)：
電極を含む基板本体と、前記基板本体の表面上に形成された誘電体と、前記誘電体を放電によるスパッタから保護するために前記誘電体の表面上に形成された第1保護層と、前記第1保護層の表面上に形成された第2保護層とを備え、前記第2保護層は大気中に於いて前記第1保護層よりも化学的に安定であるという第1物性的条件を満たすことを特徴とする、AC型プラズマディスプレイパネル用基板。
IPC (3)：
H01J 11/02 ,  H01J 9/02 ,  H01J 11/00
FI (3)：
H01J 11/02 B ,  H01J 9/02 F ,  H01J 11/00 K
F-Term (13)：
5C027AA07 ,  5C040FA01 ,  5C040GB03 ,  5C040GB06 ,  5C040GB14 ,  5C040GE02 ,  5C040GE09 ,  5C040JA07 ,  5C040JA24 ,  5C040KA04 ,  5C040KB13 ,  5C040MA10 ,  5C040MA17
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (15)
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