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J-GLOBAL ID：200903060195221934
表面欠陥検査装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996162942
Publication number (International publication number)：1998010053
Application date： Jun. 24, 1996
Publication date： Jan. 16, 1998
Summary：
【要約】【課題】 被検査面上の緩やかな凹凸状の欠陥をも検出することができる表面欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】 被検査面100に光を照射し、その被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査面100に所定の明暗パターンを形成する照明手段101と、上記被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段102と、上記画像データにおいて上記明パターンと暗パターンとの境界領域を抽出し、上記明暗パターン境界領域の間隔に基づいて欠陥候補位置を算出する画像処理手段103と、上記被検査面もしくは撮像手段および照明手段のいずれか一方を移動させながら任意の時刻毎に上記画像処理手段で所定の処理を実行し、時系列に連続して得られる欠陥候補位置が上記移動と所定の条件で一致するか否かを判定し、一致したならばその欠陥候補を欠陥と判定する欠陥検出手段104とを備る。
Claim (excerpt)：
被検査面に光を照射し、その被検査面からの反射光に基づいて受光画像を作成し、この受光画像に基づいて被検査面上の欠陥を検出する表面欠陥検査装置において、被検査物体表面に所定の明暗パターンを形成する照明手段と、上記被検査面を撮像して得られる受光画像を電気信号の画像データに変換する撮像手段と、上記画像データにおいて上記明パターンと暗パターンとの境界領域を抽出し、上記明暗パターン境界領域の間隔に基づいて欠陥候補位置を算出する画像処理手段と、上記被検査面もしくは撮像手段および照明手段のいずれか一方を移動させながら任意の時刻毎に上記画像処理手段で所定の処理を実行し、時系列に連続して得られる欠陥候補位置が上記移動と所定の条件で一致するか否かを判定し、一致したならばその欠陥候補を欠陥と判定する欠陥検出手段と、を備えたことを特徴とする表面欠陥検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G06T 7/00
G01N 21/88 Z
, G01B 11/30 E
, G06F 15/62 400
Cited by examiner (6)
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