電子放出装置及びその製造方法、冷陰極電界電子放出素子及びその製造方法、並びに、冷陰極電界電子放出表示装置及びその製造方法

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：山本孝久
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002083898
Publication number (International publication number)：2003016954
Application date： Mar. 25, 2002
Publication date： Jan. 17, 2003
Summary：

【要約】【課題】表示装置を構成する各種の部材から放出されるガスあるいはガス状物質が電子放出部に付着、吸着することによって電子放出部の特性が劣化するといった問題を解決し得る冷陰極電界電子放出素子を提供する。【解決手段】冷陰極電界電子放出素子は、支持体10上に形成されたカソード電極11、カソード電極11の上方に形成され、開口部14を有するゲート電極13、及び、開口部14の底部に位置するカソード電極11の部分の表面に形成された電子放出部15から構成され、電子放出部15は炭素系材料層23から成り、炭素系材料層23は、炭化水素系ガス及びフッ素含有炭化水素系ガスを用いて形成されている。

Claim (excerpt)：

導電体層上に形成された電子放出部から構成され、該電子放出部は炭素系材料層から成り、該炭素系材料層は、炭化水素系ガス及びフッ素含有炭化水素系ガスを用いて形成されていることを特徴とする電子放出装置。

IPC (4)：

H01J 29/04 , H01J 1/304 , H01J 9/02 , H01J 31/12

FI (4)：

H01J 29/04 , H01J 9/02 B , H01J 31/12 C , H01J 1/30 F

F-Term (8)：

5C031DD17 , 5C031DD19 , 5C036EE19 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EH11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

真空電界放出エミッターの作製方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-005269 Applicant：沖電気工業株式会社
電子源アレイと、その製造方法、及び前記電子源アレイまたはその製造方法を用いて形成される画像形成装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-121092 Applicant：シャープ株式会社
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Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-255515 Applicant：株式会社東芝

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