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J-GLOBAL ID：200903051922681464

電界放出型冷陰極とその製造方法および平面ディスプレイの製造方法

Inventor：
伊藤 文則

About 伊藤 文則


Applicant, Patent owner：
日本電気株式会社

About 日本電気株式会社


Agent (1)： 岩佐 義幸
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999145900
Publication number (International publication number)：2000340098
Application date： May. 26, 1999
Publication date： Dec. 08, 2000
Summary：
【要約】【課題】 エミッタ形成の制御性を向上させるとともに、均一で安定な高放出電流を発生可能な電界放出型冷陰極と平面ディスプレイおよびそれらの製造方法を提供する。【解決手段】 導電層2が形成されたガラス基板1上に少なくとも絶縁層4の膜厚より短いナノチューブからなるエミッタ3を形成し、その上層に絶縁層4およびゲート電極5を積層し、ゲート電極5と絶縁層4の一部をエッチングしてゲート開口部を形成する。具体的には、絶縁層4が、絶縁耐圧Eb,膜厚dとし、印加電圧をVgとするとき、カーボンナノチューブの長さは、d-Vg/Ebより短く制御する。
Claim (excerpt)：
カーボンナノチューブからなるエミッタと、前記エミッタを取り囲むように配置された絶縁層と、ゲート電極とを備え、前記エミッタに対して電圧を印加して電子を放出させる電界放出型冷陰極において、前記カーボンナノチューブの長さが少なくとも前記絶縁層の膜厚よりも短いことを特徴とする電界放出型冷陰極。
IPC (4)：
H01J 1/304 ,  H01J 9/02 ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12
FI (4)：
H01J 1/30 F ,  H01J 9/02 B ,  H01J 29/04 ,  H01J 31/12 C
F-Term (12)：
5C031DD09 ,  5C031DD17 ,  5C031DD19 ,  5C036EE02 ,  5C036EE14 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH01 ,  5C036EH08 ,  5C036EH21
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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