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J-GLOBAL ID：200903060442498790

感光性コーティング樹脂組成物

Inventor：
木村 正志

About 木村 正志


Applicant, Patent owner：
旭化成エレクトロニクス株式会社

About 旭化成エレクトロニクス株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004017654
Publication number (International publication number)：2005208527
Application date： Jan. 26, 2004
Publication date： Aug. 04, 2005
Summary：
【課題】 優れたリソグラフィー特性と高い保存安定性を有する、新規な感光性コーティング樹脂組成物を提供する。【解決手段】 下式(1)で表されるポリアミドと、ベンゼン環を有するグリコールエーテル類を10質量%以上含有する有機溶媒と、感光剤からなるコーティング樹脂組成物を用いる。【化1】(式中、R1は2〜8価の有機基、R2は2〜8価の有機基、R3、R4、R5、R6は水素原子、および/または炭素数1〜20までの1価の有機基である。ただし、R3、R4の全てが水素原子であることはない。また、nは2〜150の整数であり、p、qは0〜2の整数、r、sは0〜4の整数である。ただし、pまたはsの少なくとも片方は0ではない。)【選択図】 選択図なし。
Claim (excerpt)：
A)下式(1)で表される構造単位を有するポリアミド100質量部と、 B)下式(2)で表されるグリコールエーテル類を10質量%以上含有する有機溶媒20〜1000質量部と、 C)感光剤1〜20質量部とを含有することを特徴とする感光性コーティング樹脂組成物。
IPC (4)：
G03F7/037 ,  G03F7/004 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027
FI (5)：
G03F7/037 501 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 504 ,  G03F7/40 501 ,  H01L21/30 502R
F-Term (17)：
2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AB16 ,  2H025AC08 ,  2H025AD05 ,  2H025CB25 ,  2H025CB26 ,  2H025CC03 ,  2H025CC04 ,  2H025CC20 ,  2H025FA29 ,  2H096AA25 ,  2H096BA01 ,  2H096BA09 ,  2H096EA02 ,  2H096EA04 ,  2H096HA01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (2)

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