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J-GLOBAL ID：200903060563144554

荷電粒子線装置

Inventor： 岩永光恭 ,  小林達次 ,  佐藤貴弥
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003164839
Publication number (International publication number)：2005005022
Application date： Jun. 10, 2003
Publication date： Jan. 06, 2005
Summary：

【課題】イオンビームや電子ビームなど、荷電粒子線の偏向現象を、改善ないし緩和することのできる荷電粒子線装置を提供する。【解決手段】荷電粒子輸送路の途中に、該輸送路を遮るために、隔離弁を設けた荷電粒子線装置において、該隔離弁を、導電性接着、圧着、溶接のうちの、少なくとも1つの手段を用いて、接地した。【選択図】 図7

Claim (excerpt)：

荷電粒子輸送路の途中に、該輸送路を遮るために、隔離弁を設けた荷電粒子線装置において、 該隔離弁を、導電性接着、圧着、溶接のうちの、少なくとも1つの手段を用いて、導線にて接地したことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (1)：

H01J49/40

FI (1)：

H01J49/40

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平1-102843
  
• 特開昭62-177839
  
• ストロー管ドリフトチヤンバの製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-069109   Applicant：アドバンスドインターコネクシヨンテクノロジーインコーポレイテツド
• プラズマイオン質量分析装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-271405   Applicant：セイコー電子工業株式会社
• 垂直加速型飛行時間型質量分析装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-223629   Applicant：日本電子株式会社