Pat
J-GLOBAL ID：200903060658380573
形状と材質の測定方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：
西山 恵三
, 内尾 裕一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004364674
Publication number (International publication number)：2006170847
Application date： Dec. 16, 2004
Publication date： Jun. 29, 2006
Summary：
【課題】測定対象物の膜材質の屈折率が既知かどうかに関わらず、不明瞭な境界領域を残すことなく、又、高精度に誤差要因を含む膜厚分布を測定することなく、直接測定面内の各測定位置ごとの表面材質の分類ができる形状と材質の測定方法を提供すること。【解決手段】白色干渉形状測定を用いる形状と材質の測定方法であり、白色干渉光学系の光軸に垂直に設置した被測定物の測定面を、白色干渉光学系内で光軸方向に相対移動させ、干渉縞強度の極大値の発生の回数を数えることで、測定面内の各測定位置ごとの表面材質の分類を行うことを特徴とする。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
白色干渉形状測定を用いる形状と材質の測定方法であり、白色干渉光学系の光軸に垂直に設置した被測定物の測定面を、白色干渉光学系内で光軸方向に相対移動させ、干渉縞強度の極大値の発生の回数を数えることで、測定面内の各測定位置ごとの表面材質の分類を行うことを特徴とする形状と材質の測定方法。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (15)：
2F064AA09
, 2F064FF03
, 2F064FF07
, 2F064GG22
, 2F064GG51
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2G059BB10
, 2G059BB15
, 2G059DD12
, 2G059EE09
, 2G059FF01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ22
, 2G059KK04
