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J-GLOBAL ID：200903060810201248
被膜形成装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007134651
Publication number (International publication number)：2008285743
Application date： May. 21, 2007
Publication date： Nov. 27, 2008
Summary：
【課題】被膜形成装置を長時間運転してもエアロゾル配管内部、エアロゾル吐出ノズル廻りでの微粒子の堆積の発生が抑制され、長時間にわたり安定して緻密で均一な被膜を形成可能な被膜形成装置を提供する。【解決手段】微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを、真空チャンバー5内でエアロゾル吐出ノズル2から基材上に吐出し衝突させて成膜を行なう被膜形成装置1であって、エアロゾル吐出ノズル2は、エアロゾルを搬送するエアロゾル配管3に接続されてなり、該エアロゾル配管3およびエアロゾル吐出ノズル2の少なくとも一方に振動を与える手段2a、3aを設け、エアロゾルの吐出時において振動を与える。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
微粒子をガス中に分散させたエアロゾルを、真空チャンバー内でエアロゾル吐出ノズルから基材上に吐出し衝突させて成膜を行なう被膜形成装置であって、
前記エアロゾル吐出ノズルは、前記エアロゾルを搬送するエアロゾル配管に接続されてなり、前記エアロゾル配管および前記エアロゾル吐出ノズルの少なくとも一方に振動を与える手段を設けたことを特徴とする被膜形成装置。
IPC (2)：
FI (2)：
F-Term (8)：
4F033PA14
, 4F033PB32
, 4K044AA03
, 4K044BA12
, 4K044BA13
, 4K044BA18
, 4K044BA19
, 4K044BB11
