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J-GLOBAL ID:200903060813086342
マイクロマシンスイッチおよびその製造方法
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山川 政樹
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998365690
Publication number (International publication number):2000188050
Application date: Dec. 22, 1998
Publication date: Jul. 04, 2000
Summary:
【要約】【課題】 従来よりも低い駆動電圧で動作可能とする。また、絶縁体膜の耐圧特性を上昇させる。【解決手段】 基板1上に信号線3のギャップと近接して設けられかつ基板1面に対して所定の高さを有する支持部材7と、この支持部材7から基板1面に対して略水平に突出しかつ一部がギャップと対向するようにして設けられた可撓性の梁部材(片持ちアーム8)と、この梁部材の基板1側における少なくともギャップと対向する位置に設けられた接触電極5と、基板1上に梁部材の一部と対向して設けられた下部電極4と、梁部材に下部電極4と対向して設けられた中間電極15とを備える。
Claim (excerpt):
基板上に設けられた第1の信号線と、前記基板上に設けられかつ前記第1の信号線の端部から所定のギャップを隔てて端部の設けられた第2の信号線との間の導通/非導通を制御するマイクロマシンスイッチにおいて、前記基板上に前記ギャップと近接して設けられかつ前記基板面に対して所定の高さを有する支持部材と、この支持部材から前記基板面に対して略水平に突出しかつ一部が前記ギャップと対向するようにして設けられた可撓性の梁部材と、この梁部材の前記基板側における少なくとも前記ギャップと対向する位置に設けられた接触電極と、前記基板上に前記梁部材の一部と対向して設けられた下部電極と前記梁部材に前記下部電極と対向して設けられた中間電極と、を備えたことを特徴とするマイクロマシンスイッチ。
IPC (3):
H01H 59/00
, H01H 11/00
, H01H 11/06
FI (3):
H01H 59/00
, H01H 11/00 B
, H01H 11/06 A
F-Term (4):
5G023AA20
, 5G023CA26
, 5G023CA29
, 5G023CA50
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (10)
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特開平4-370622
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特開平4-370622
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静電型可動接点素子および静電型可動接点集積回路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-019782
Applicant:日本電信電話株式会社
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ミクロ機械加工されたリレー及び当該リレーの形成方法
Gazette classification:公表公報
Application number:特願平6-518131
Applicant:ブルックトゥリーコーポレイション
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半導体マイクロリレー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-307758
Applicant:オムロン株式会社
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微細電気機械スイッチ
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-082436
Applicant:ロックウェル・インターナショナル・コーポレイション
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高周波信号用スイッチを含む移相器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-284005
Applicant:テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
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マイクロマシーン
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平3-216915
Applicant:シヤープ株式会社
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静電駆動型リレー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-155757
Applicant:松下電工株式会社
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静電リレー
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-059627
Applicant:オムロン株式会社
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