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J-GLOBAL ID：200903060910464688

分光装置

Inventor：
鈴木 泰幸

About 鈴木 泰幸


Applicant, Patent owner：
横河電機株式会社

About 横河電機株式会社


Agent (7)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  渡邊 隆 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  西 和哉 ,  村山 靖彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006005790
Publication number (International publication number)：2007187550
Application date： Jan. 13, 2006
Publication date： Jul. 26, 2007
Summary：
【課題】小型化が可能であって安価且つ組み立て調整が容易な分光装置を提供する。【解決手段】分光装置10は、回折格子13と反射光学系15とを備えており、入射スリット11からの被測定光を回折格子13に入射させて得られた光を反射光学系15で反射させ、この反射光を再度回折格子13に入射させて被測定光を分光する。反射光学系15は、凸面鏡と凹面鏡とを含み、被測定光を回折格子13に入射させて得られた光を凸面鏡と凹面鏡との間で複数回反射させる。凸面鏡と凹面鏡との間の反射回数が奇数回である場合には、反射光学系15は入射した光の分散方向を逆向きにして射出する。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
波長分散素子と、被測定光を前記波長分散素子に入射させて得られた光を反射する反射光学系とを備え、前記反射光学系で反射した光を再度前記波長分散素子に入射させて前記被測定光を分光する分光装置において、 前記反射光学系は、凸面鏡と凹面鏡とを含み、前記被測定光を前記波長分散素子に入射させて得られた光を前記凸面鏡と前記凹面鏡との間で複数回反射させることを特徴とする分光装置。
IPC (1)：
G01J 3/18
FI (1)：
G01J3/18
F-Term (6)：
2G020CB03 ,  2G020CC02 ,  2G020CC07 ,  2G020CC42 ,  2G020CC62 ,  2G020CD03
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (2)
  • 2段式分光器
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-051944   Applicant：安藤電気株式会社
  • 反射ミラー型露光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-026639   Applicant：株式会社東芝

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