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J-GLOBAL ID：200903060912204764

導電性スピンチャック

Inventor： 尾崎 雅一 ,  上野 洋司 ,  松橋 出
Applicant, Patent owner： ニチアス株式会社
Agent (1)： 赤塚 賢次 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000053715
Publication number (International publication number)：2001244318
Application date： Feb. 29, 2000
Publication date： Sep. 07, 2001
Summary：

【要約】【課題】 表面固有抵抗値が106 〜1010Ωで、導電性の制御が容易であり、且つ、薄肉化に対応しうる曲げ強度や曲げ弾性率等の剛性の高い導電性スピンチャックを提供すること。【解決手段】 本発明に係る導電性スピンチャックは、ポリエーテルエーテルケトン樹脂60〜90重量%と、体積固有抵抗値100 Ωcm以上の導電性カーボンファイバー10〜40重量%とからなり、引張強度200MPa 以上、曲げ強度300MPa 以上、曲げ弾性率18GPa 以上、且つ、表面固有抵抗値が106 〜1010Ωである。

Claim (excerpt)：

ポリエーテルエーテルケトン樹脂60〜90重量%と、体積固有抵抗値100 Ωcm以上の導電性カーボンファイバー10〜40重量%とからなり、引張強度200MPa 以上、曲げ強度300MPa 以上、曲げ弾性率18GPa 以上、且つ、表面固有抵抗値が106 〜1010Ωであることを特徴とする導電性スピンチャック。

IPC (6)：

H01L 21/68 ,  C08K 3/04 ,  C08K 7/06 ,  C08L 71/02 ,  H01B 1/24 ,  H01L 21/027

FI (6)：

H01L 21/68 P ,  C08K 3/04 ,  C08K 7/06 ,  C08L 71/02 ,  H01B 1/24 Z ,  H01L 21/30 503 C

F-Term (18)：

4J002CH091 ,  4J002DA036 ,  4J002FA046 ,  4J002FD116 ,  4J002GQ02 ,  5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA13 ,  5F031MA23 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031PA21 ,  5F031PA26 ,  5F046AA28 ,  5F046CC08 ,  5G301DA20 ,  5G301DA42 ,  5G301DD05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 物品取扱部材およびその製造方法および収納容器ならびに物品取扱装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-094040   Applicant：株式会社日立製作所, 積水化学工業株式会社
• ポリエーテルケトン樹脂組成物および半導体ウエハ加工・処理用キャリア
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-322756   Applicant：住友化学工業株式会社
• 帯電防止ウエハキャリア
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-184564   Applicant：三井東圧化学株式会社