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J-GLOBAL ID：200903061060631780

pチャネル電界効果トランジスタ

Inventor：
川原田 洋

About 川原田 洋


Applicant, Patent owner：
科学技術振興事業団

About 科学技術振興事業団


Agent (1)： 清水 守
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002274343
Publication number (International publication number)：2004109020
Application date： Sep. 20, 2002
Publication date： Apr. 08, 2004
Summary：
【課題】オゾン処理による高い閾値電圧を有する特性の良好なpチャネル電界効果トランジスタを提供する。【解決手段】液体電解質をゲート8として使用し、オゾン処理2により水素終端表面を部分的に酸化し、水素終端と酸素終端が混在したダイヤモンド表面をチャネルとしてなるpチャネル電界効果トランジスタを得る。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
液体電解質をゲートとして使用し、オゾン処理により水素終端表面を部分的に酸化し、水素終端と酸素終端が混在したダイヤモンド表面をチャネルとしてなるpチャネル電界効果トランジスタ。
IPC (3)：
G01N27/414 ,  C12N15/09 ,  H01L29/78
FI (6)：
G01N27/30 301V ,  H01L29/78 301U ,  H01L29/78 301B ,  C12N15/00 F ,  G01N27/30 301Z ,  G01N27/30 301Y
F-Term (11)：
4B024AA11 ,  4B024CA01 ,  4B024HA13 ,  5F140AA37 ,  5F140AC01 ,  5F140AC37 ,  5F140BA01 ,  5F140BA04 ,  5F140BE05 ,  5F140BF01 ,  5F140BF03
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • ダイヤモンド電極
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-163561   Applicant：株式会社神戸製鋼所
  • ダイヤモンド薄膜バイオセンサ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-042211   Applicant：株式会社神戸製鋼所
  • 電界効果トランジスタ
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-085947   Applicant：科学技術振興事業団
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Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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