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J-GLOBAL ID:200903061081516698

炭素膜および炭素膜構造

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 岡田 和秀
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2006341254
Publication number (International publication number):2008150253
Application date: Dec. 19, 2006
Publication date: Jul. 03, 2008
Summary:
【課題】IV特性において格段に優れた炭素膜を得ること。【解決手段】本炭素膜の構造は基板10上に複数の炭素膜集合単位12が形成されている。炭素膜集合単位12は、細長い針状に成膜されている幹状炭素膜14と、この幹状炭素膜14の膜中途から膜下部にかけて当該幹状炭素膜14を囲むように成膜されている枝状炭素膜群16とを備える。幹状炭素膜14は、先端近傍の外周面に当該先端に向けて螺旋状の筋状段差部18を有する半径が先端に向かうにつれて小さくなる形状を備える細長い針状である。【選択図】図1
Claim (excerpt):
グラフェンシートが多層に重なって内部中空となっていて、かつ、先端に向けて半径が小さくなる針状形状を備える、ことを特徴とする炭素膜。
IPC (4):
C01B 31/02 ,  H01J 1/304 ,  B82B 1/00 ,  C23C 16/26
FI (4):
C01B31/02 101Z ,  H01J1/30 F ,  B82B1/00 ,  C23C16/26
F-Term (28):
4G146AA01 ,  4G146AB06 ,  4G146AB07 ,  4G146AC01A ,  4G146AC01B ,  4G146AD29 ,  4G146BA12 ,  4G146BC09 ,  4G146BC25 ,  4G146BC27 ,  4G146BC33B ,  4G146BC34B ,  4G146DA16 ,  4G146DA21 ,  4G146DA33 ,  4G146DA40 ,  4K030AA10 ,  4K030AA17 ,  4K030BA27 ,  4K030BB11 ,  4K030DA04 ,  4K030FA03 ,  5C135AA13 ,  5C135AA15 ,  5C135AB07 ,  5C135AB08 ,  5C135AC01 ,  5C135HH02
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (7)
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Cited by examiner (6)
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Article cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 化学フロンティア2 カーボンナノチューブ - ナノデバイスへの挑戦, 20010130, 第1版第1刷, 176、177頁
Cited by examiner (1)
  • 化学フロンティア2 カーボンナノチューブ - ナノデバイスへの挑戦, 20010130, 第1版第1刷, 176、177頁

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