Pat
J-GLOBAL ID:200903061219281654
ドープド半導体材料、ドープド半導体材料の製造方法、および半導体デバイス
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
山本 秀策
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2000177538
Publication number (International publication number):2001044569
Application date: Jun. 13, 2000
Publication date: Feb. 16, 2001
Summary:
【要約】【課題】 原子の秩序化の結果生じる禁制帯幅の減少のような所望しない効果を排除すること。【解決手段】 半導体材料中で自由電荷キャリアを提供する第1のドーパントと該半導体材料中で原子の無秩序化を促進する第2のドーパントとを含む半導体材料であって、該第2のドーパント濃度が該半導体材料の全体に亘って実質的に均一である。
Claim (excerpt):
半導体材料中で自由電荷キャリアを提供する第1のドーパントと該半導体材料中で原子の無秩序化を促進する第2のドーパントとを含む半導体材料であって、該第2のドーパント濃度が該半導体材料の全体に亘って実質的に均一である、半導体材料。
IPC (5):
H01S 5/323
, H01L 21/203
, H01L 21/205
, H01L 21/22
, H01L 21/324
FI (5):
H01S 5/323
, H01L 21/203 M
, H01L 21/205
, H01L 21/22 P
, H01L 21/324 C
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (8)
Show all
Return to Previous Page