被検体の外観形状検査方法及び装置

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：江原望 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000331958
Publication number (International publication number)：2001249012
Application date： Oct. 31, 2000
Publication date： Sep. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】設備コスト・スペースの増加が抑制され作業効率に優れた判定精度の高い被検体の外観形状検査方法及び装置を供する。【解決手段】被検体に対して第1のスリット光により照射したライン部分を第1撮像手段4が撮像し外観データを入手し、同時に前記ライン部分に照射した第2のスリット光により同じライン部分を第2撮像手段5が撮像し形状データを入手し、前記同一ライン部分の前記外観データと前記形状データとから被検体の外観形状の良否を判定する被検体の外観形状検査方法及び装置。

Claim (excerpt)：

被検体に対して第1のスリット光により照射したライン部分を第1撮像手段が撮像し外観データを入手し、同時に前記ライン部分に照射した第2のスリット光により同じライン部分を第2撮像手段が撮像し形状データを入手し、前記同一ライン部分の前記外観データと前記形状データとから被検体の外観形状の良否を判定することを特徴とする被検体の外観形状検査方法。

IPC (7)：

G01B 11/24 , B60C 25/00 , B62D 65/12 , B62D 65/18 , G01B 11/30 , G01N 21/95 , B60C 19/00

FI (7)：

B60C 25/00 , B62D 65/12 C , B62D 65/18 D , G01B 11/30 A , G01N 21/95 Z , B60C 19/00 H , G01B 11/24 K

F-Term (50)：

2F065AA49 , 2F065AA54 , 2F065BB05 , 2F065CC13 , 2F065DD03 , 2F065FF07 , 2F065FF42 , 2F065GG04 , 2F065GG07 , 2F065GG16 , 2F065HH02 , 2F065HH05 , 2F065JJ02 , 2F065JJ03 , 2F065JJ05 , 2F065JJ25 , 2F065JJ26 , 2F065LL12 , 2F065LL22 , 2F065QQ33 , 2F065QQ38 , 2F065SS04 , 2F065SS13 , 2G051AA90 , 2G051AB01 , 2G051AB02 , 2G051AB07 , 2G051BA01 , 2G051BA06 , 2G051BA08 , 2G051BA10 , 2G051BA20 , 2G051BC01 , 2G051CA03 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051DA08 , 2G051DA15 , 2G051EA14 , 2G051EA16 , 2G051EA17 , 2G051EB01 , 2G051EB02 , 2G051EC01 , 2G051FA10 , 3D114AA03 , 3D114AA11 , 3D114BA24 , 3D114HA03 , 3D114JA15

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

表面欠陥検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-001065 Applicant：富士ゼロックス株式会社
特開昭63-229311
表面品質検査方法及び表面品質検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-334236 Applicant：新日本製鐵株式会社

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