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J-GLOBAL ID：200903061410506623

薄膜部材並びにこれを用いた熱型変位素子及び放射検出装置

Inventor：
鈴木 純児

About 鈴木 純児

, 
石津谷 徹

About 石津谷 徹


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999134143
Publication number (International publication number)：2000326299
Application date： May. 14, 1999
Publication date： Nov. 28, 2000
Summary：
【要約】【課題】 所望の機械的強度を確保しつつ膜厚を薄くすることができる薄膜部材を用いることによって、感度等の特性の向上を図る。【解決手段】 膨張係数の異なる2つの膜4,5からなる変位部3は、脚部2を介して基板1に支持される。変位部3は赤外線吸収部を兼ねる。反射板6が、変位部3の先端部に対して固定される。変位部3が赤外線iを受けると熱を発生して撓み、反射板6による読み出し光jの反射方向が変化する。反射板6は、平面部6aと、平面部6aの周辺部分の全体に渡って、平面部6aから立ち下がるように形成された立ち下がり部6bと、立ち下がり部6bの下部から側方に外側にわずかに延びた水平部6cと、を備えた薄膜部材で構成される。
Claim (excerpt)：
1層又は複数層の膜からなる平面部を有し該平面部が空中に位置するように支持された薄膜部材であって、前記平面部の周辺部分の少なくとも一部に渡って、前記平面部から立ち上がるかあるいは立ち下がる立ち上がり部又は立ち下がり部が形成されたことを特徴とする薄膜部材。
IPC (4)：
B81B 3/00 ,  B32B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  G01J 5/38
FI (4)：
B81B 3/00 ,  B32B 1/00 ,  B81C 1/00 ,  G01J 5/38
F-Term (12)：
2G066BA20 ,  2G066BA57 ,  4F100AA20 ,  4F100AB10A ,  4F100AB11B ,  4F100AK49 ,  4F100AK80 ,  4F100AR00A ,  4F100AR00B ,  4F100BA02 ,  4F100GB41 ,  4F100JK01
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
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Cited by examiner (4)
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