Pat

J-GLOBAL ID：200903050797856552

光読み出し型放射-変位変換装置及びその製造方法、放射検出方法及び装置、並びにこれを用いた映像化方法及び装置

Inventor： 石津谷 徹 ,  雨宮 昇 ,  赤川 圭一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 四宮 通
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997256042
Publication number (International publication number)：1998253447
Application date： Sep. 04, 1997
Publication date： Sep. 25, 1998
Summary：

【要約】【課題】 冷却器を用いることなく、放射の検出精度及び感度の向上を図る。【解決手段】 被支持部3は、脚部2を介して基板1に支持される。被支持部3は、赤外線を受けて熱に変換する赤外線吸収膜4と、赤外線吸収膜4にて発生した熱に応じてバイメタルの原理により基板1に対して変位する変位部4,5とを有する。反射膜5は、読み出し光jを受光し、受光した読み出し光に変位部4,5の変位に応じた反射方向及び反射位置の変化を与えて当該変化した読み出し光の反射光を出射させる。

Claim (excerpt)：

基体と、前記基体に支持された被支持部であって、放射を受けて熱に変換する放射吸収部と、該放射吸収部にて発生した熱に応じて前記基体に対して変位する変位部と、を有する被支持部と、読み出し光を受光し、受光した読み出し光に前記変位部の変位に応じた変化を与えて当該変化した読み出し光を出射させる光作用部と、を備えたことを特徴とする光読み出し型放射-変位変換装置。

IPC (3)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/40 ,  G01K 5/48

FI (3)：

G01J 1/02 R ,  G01J 5/40 ,  G01K 5/48

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

• カンチレバーを利用したセンサ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-338602   Applicant：株式会社堀場製作所
• 静電容量による赤外線検出方法及び赤外線センサ 及び赤外線撮像装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-003923   Applicant：株式会社ニコン
• 特開平3-040694
  
• DMDのアナログ走査変換器
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-169165   Applicant：テキサスインスツルメンツインコーポレイテツド
• 静電力駆動小型光スキャナ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-334064   Applicant：松下電器産業株式会社
• 特開平4-295736
  
• 特開平1-207664
  
• 光偏向器および該光偏向器を用いた画像表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-270171   Applicant：キヤノン株式会社
• マイクロメカニカルセンサを使用する電磁放射および放射線検出器
  Gazette classification：公表公報   Application number：特願平9-526184   Applicant：ロッキードマーチンエナジーシステムズ,インコーポレイテッド

Article cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• Review of Scientific Instruments, 199610, Vol.67 No.10, p.3434〜3439