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J-GLOBAL ID：200903061466906632

レーザ加工装置及び加工方法

Inventor： 林 健一
Applicant, Patent owner： 住友重機械工業株式会社
Agent (1)： 高橋 敬四郎 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997076210
Publication number (International publication number)：1998263873
Application date： Mar. 27, 1997
Publication date： Oct. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】 クラックの発生しにくいレーザ加工技術を提供する。【解決手段】 レーザ光を出射する固体レーザ源と、固体レーザ源から出射したレーザ光の少なくとも一部を紫外域の波長のレーザ光に変換する波長変換手段と、波長変換手段により生成された紫外領域のレーザ光を、加工対象物の表面へ集光する集光光学系とを有する。

Claim (excerpt)：

レーザ光を出射する固体レーザ源と、前記固体レーザ源から出射したレーザ光の少なくとも一部を紫外域の波長のレーザ光に変換する波長変換手段と、前記波長変換手段により生成された紫外領域のレーザ光を、加工対象物の表面へ集光する集光光学系とを有するレーザ加工装置。

IPC (2)：

B23K 26/06 ,  H05K 3/00

FI (2)：

B23K 26/06 Z ,  H05K 3/00 N

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特表平6-509445
  
• レーザ加工装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-006599   Applicant：株式会社東芝
• レーザマーキング方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-289794   Applicant：住友重機械工業株式会社
• レーザ光発生装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平8-348869   Applicant：ソニー株式会社