ウエハステージ、ウエハの温度調整方法及びドライエッチング装置

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：船橋國則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996222035
Publication number (International publication number)：1998064985
Application date： Aug. 23, 1996
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】スループットに影響を与えることなく、短時間でウエハの温度を変更することができるようにしたウエハステージの提供が望まれている。【解決手段】絶縁材料からなる誘電体6と導体からなる電極7とを備えた静電チャック3と、静電チャック3に接合された金属製ジャケット2とからなるウエハステージ1である。電極7は、誘電体6を金属製ジャケット2に固定するためのろう付け層によって形成されている。金属製ジャケット2は、その内部にヒータ4と冷却手段に接続される冷媒配管5とを埋め込んで形成されている。

Claim (excerpt)：

絶縁材料からなる誘電体と導体からなる電極とを備えた静電チャックと、該静電チャックに接合された金属製ジャケットとからなり、前記電極が、前記誘電体を金属製ジャケットに固定するためのろう付け層によって形成され、前記金属製ジャケットが、その内部にヒータと冷却手段に接続される冷媒配管とを埋め込んで形成されたことを特徴とするウエハステージ。

IPC (2)：

H01L 21/68 , H01L 21/3065

FI (2)：

H01L 21/68 R , H01L 21/302 B

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

静電チャック及びその作製方法並びに基板処理装置及び基板搬送装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-019462 Applicant：ソニー株式会社
静電チャック
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-240492 Applicant：株式会社創造科学, 有限会社宮田技研
特開昭53-070566

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