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J-GLOBAL ID：200903062072210108

固体撮像素子およびその製造方法

Inventor：
青木 信明

About 青木 信明


Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社

About シャープ株式会社


Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000311205
Publication number (International publication number)：2002118245
Application date： Oct. 11, 2000
Publication date： Apr. 19, 2002
Summary：
【要約】【課題】 固体撮像素子において、受光部の感度を低下させることなく、位置合わせずれや小F値等における光路ずれの影響を少なくして、効率良く入射光を受光部に導く。【解決手段】 複数の受光部2を設けた半導体基板1上に、内部に配線を含む絶縁層3を有する固体撮像素子において、絶縁層3の受光部2上部分に光導波路形成用穴5を形成し、その中に透光性材料12を埋め込んで光導波路5aを形成する。光導波路5a上方には、レンズの焦点が光導波路5a内部であって、かつ、受光部2の表面近傍に設定されたマイクロレンズ9を設ける。
Claim (excerpt)：
半導体基板上または半導体基板の表層部に設けた複数の受光部と、内部に配線を含むと共に該受光部上に光導波路を設けた絶縁層とを有する固体撮像素子において、該光導波路上方にマイクロレンズを備え、該レンズの焦点を該光導波路内部であって、かつ、該受光部表面近傍に設定した固体撮像素子。
IPC (6)：
H01L 27/14 ,  G02B 1/10 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/20 101 ,  H01L 31/02 ,  H04N 5/335
FI (7)：
G02B 3/00 A ,  G02B 5/20 101 ,  H04N 5/335 V ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 D ,  G02B 1/10 Z ,  H01L 31/02 B
F-Term (31)：
2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB13 ,  2H048BB46 ,  2K009BB01 ,  2K009CC14 ,  2K009CC42 ,  2K009DD04 ,  2K009DD12 ,  2K009EE00 ,  4M118AA01 ,  4M118AA10 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118BA14 ,  4M118CA03 ,  4M118CA40 ,  4M118CB11 ,  4M118GA09 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  5C024CX11 ,  5C024CY47 ,  5C024EX21 ,  5C024EX43 ,  5C024GY01 ,  5F088AA01 ,  5F088BA10 ,  5F088BB03 ,  5F088JA12 ,  5F088JA14
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
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