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J-GLOBAL ID：200903062109241866

石英ガラスおよびその製造方法、ならびにその石英ガラスを用いた熱処理装置および熱処理方法

Inventor： 冨田 寛 ,  石井 庸央 ,  本郷 智恵
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝 ,  東芝セラミックス株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997141906
Publication number (International publication number)：1998330124
Application date： May. 30, 1997
Publication date： Dec. 15, 1998
Summary：

【要約】【課題】金属不純物を含んでいても汚染源とはならない石英ガラスを提供すること。【解決手段】石英ガラスとして、電子スピン共鳴吸収法にて磁束密度3370Gに検出されるSiダングリングボンド(E ́中心)の濃度が3×1019cm-3以上となる領域を含むものを使用する。

Claim (excerpt)：

電子スピン共鳴吸収法にて磁束密度3370Gに検出されるSiダングリングボンドの濃度が3×1019cm-3以上となる領域を含むことを特徴とする石英ガラス。

IPC (2)：

C03B 20/00 ,  C03C 3/06

FI (2)：

C03B 20/00 ,  C03C 3/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 真空装置用の窓材
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-256579   Applicant：株式会社神戸製鋼所
• フオトマスク用の石英ガラス基板
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-327153   Applicant：旭硝子株式会社
• 特開平1-246159
  
• 特開平1-246159