ウェーハの円形カット方法及び曲線カット方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：佐々木功 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997208875
Publication number (International publication number)：1999054461
Application date： Aug. 04, 1997
Publication date： Feb. 26, 1999
Summary：

【要約】【課題】コアードリル装置等の専用装置を使用せずに、大口径のウェーハを円形にカットして小口径のウェーハを形成する。また、レーザー加工装置等の専用の加工装置を使用せずに、割れているウェーハのへき開面を除去して取り扱いやすい形状のウェーハを形成する。【解決手段】チャックテーブルにウェーハを載置してブレードによってウェーハを切断するダイシング装置を用いて、チャックテーブルを回転させながらブレードによる切断を行うことにより、大口径のウェーハを円形にカットして小口径のウェーハを形成する。また、チャックテーブルの回転だけでなく、チャックテーブルのX軸方向の移動及びブレードのY軸方向の移動を伴うことにより、任意の曲線状にウェーハをカットして取り扱いやすい形状のウェーハを形成する。

Claim (excerpt)：

ダイシング装置を用いてウェーハを所望直径のウェーハに加工する方法であり、前記ダイシング装置のチャックテーブルの所要位置にウェーハを載置する工程と、前記チャックテーブルの回転中心から前記所望直径の2分の1離れた位置にブレードを位置付ける工程と、高速回転する前記ブレードで前記ウェーハを切り込み前記チャックテーブルのみを少なくとも360度回転させる工程とを含むウェーハの円形カット方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

ダイシング方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-028473 Applicant：ソニー株式会社
ダイシング装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-028576 Applicant：セイコー精機株式会社
特開昭57-066896

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