静電チャック装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：志賀正武 (外8名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999215994
Publication number (International publication number)：2000107969
Application date： Jul. 29, 1999
Publication date： Apr. 18, 2000
Summary：

【要約】【課題】ウエハ吸着面の平面度悪化や、セラミック板の反りやセラミック板からの接着剤層の剥離を長期に亘って防ぐことができ、しかも、耐久性能の高い静電チャック装置。【解決手段】金属基盤12上に、電気絶縁性弾性層14を介して吸着面30となるセラミック層22を有し、電気絶縁性弾性層とセラミック層の間に電極18が形成され、電気絶縁性弾性層は、ゴム成分とフェノール系抗酸化剤とを含有した接着剤からなる。

Claim (excerpt)：

金属基盤上に、電気絶縁性弾性層を介して吸着面となるセラミック層を有し、前記電気絶縁性弾性層とセラミック層の間に電極が形成され、前記電気絶縁性弾性層は、ゴム成分とフェノール系抗酸化剤とを含有した接着剤からなることを特徴とする静電チャック装置。

IPC (3)：

B23Q 3/15 , H01L 21/68 , H02N 13/00

FI (3)：

B23Q 3/15 D , H01L 21/68 R , H02N 13/00 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

静電チャック
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-303186 Applicant：富士通株式会社
ゴム系接着剤組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-208528 Applicant：日立化成工業株式会社
耐熱性の優れたゴム系接着剤組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-156729 Applicant：ミネソタマイニングアンドマニユフアクチヤリングカンパニー

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