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J-GLOBAL ID：200903097297905570

静電チャック

Inventor：
河口 貴弘

About 河口 貴弘


Applicant, Patent owner：
富士通株式会社

About 富士通株式会社


Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996303186
Publication number (International publication number)：1998144779
Application date： Nov. 14, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：
【要約】【課題】 静電チャックに関し、残留吸着作用を低減でき、且つ長寿命の静電チャックを得ることを目的とする。【解決手段】 基板12と、電極16a,16bを有する表面絶縁層14と、該表面絶縁層と該基板とを接着する接着剤層22とを備え、該接着剤層22は該表面絶縁層14と同等の抵抗をもつセラミック系の接着剤からなる構成とする。
Claim (excerpt)：
基板と、電極を有する表面絶縁層と、該表面絶縁層と該基板とを接着する接着剤層とを備え、該接着剤層は該表面絶縁層と同等の抵抗をもつセラミック系の接着剤からなることを特徴とする静電チャック。
IPC (2)：
H01L 21/68 ,  H02N 13/00
FI (2)：
H01L 21/68 R ,  H02N 13/00 D
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
  • 特開平4-034953
  • 温度サイクル動作型セラミツク静電式チヤツク
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-080760   Applicant：インターナシヨナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイシヨン
  • 試料保持装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-121711   Applicant：株式会社日立製作所
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