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J-GLOBAL ID：200903062283854931

二次荷電粒子検出装置

Inventor：
野村 節生

About 野村 節生


Applicant, Patent owner：
株式会社日立製作所

About 株式会社日立製作所


Agent (1)： 平木 祐輔
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995269608
Publication number (International publication number)：1996321275
Application date： Oct. 18, 1995
Publication date： Dec. 03, 1996
Summary：
【要約】【目的】一次荷電粒子線の照射により試料から発生した二次荷電粒子を高効率で検出できるようにする。【構成】荷電粒子検出器5及び荷電粒子検出器の前面に設けられた二次荷電粒子引込み・加速用電極6と試料3の間に二次荷電粒子引出用電極10を設けた。二次荷電粒子引込み・加速用電極6には荷電粒子検出器5の信号励起に適した電圧を印加し、二次荷電粒子引出用電極10には一次粒子ビーム1を偏向させることが少なく、かつ試料3から二次荷電粒子を引き出すのに十分な電圧を印加する。電極6、10の周囲には磁気シールドパイプ11を配置する。
Claim (excerpt)：
荷電粒子検出器と、前記荷電粒子検出器の前面に設けられた二次荷電粒子引込み・加速用電極を備え、一次粒子の照射により試料から発生した二次荷電粒子を試料の側方で検出する方式の二次荷電粒子検出装置において、前記二次荷電粒子引込み・加速用電極と試料の間に二次荷電粒子引出用電極を設けたことを特徴とする二次荷電粒子検出装置。
IPC (2)：
H01J 37/244 ,  H01J 37/147
FI (2)：
H01J 37/244 ,  H01J 37/147 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 走査電子顕微鏡
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-125706   Applicant：株式会社日立製作所
  • 電子線分析装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-292810   Applicant：日本電子株式会社
  • 特開平2-018849
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