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J-GLOBAL ID：200903062387332694

感光性ペースト

Inventor： 正木 孝樹 ,  堀内 健 ,  井口 雄一朗
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997167650
Publication number (International publication number)：1999015145
Application date： Jun. 24, 1997
Publication date： Jan. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にすると共に焼成して形成される隔壁の着色や剥がれなどの欠陥を解消することができる感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、無機微粒子としてガラス粉末を用い、そのガラス粉末のガラス転移点が480〜510°C、ガラス軟化点が510〜540°C、かつ平均粒子径が2〜3.5μm、トップサイズ15μm以下であることを特徴とするガラス成分を用いることによって達成される。

Claim (excerpt)：

無機微粒子と感光性有機成分を必須成分とする感光性ペーストにおいて、無機微粒子としてガラス転移点480〜510°Cおよびガラス軟化点510〜540°Cを有し、かつ平均粒子径2〜3.5μm、トップサイズ15μm以下であるガラス粉末を用いることを特徴とする感光性ペースト。

IPC (5)：

G03F 7/004 501 ,  C03C 8/24 ,  C08K 3/40 ,  C08L101/00 ,  H01J 9/02

FI (5)：

G03F 7/004 501 ,  C03C 8/24 ,  C08K 3/40 ,  C08L101/00 ,  H01J 9/02 F

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 感光性ペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-321794   Applicant：東レ株式会社
• 感光性絶縁ガラスペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-187208   Applicant：東レ株式会社
• 感光性ペースト
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-167654   Applicant：東レ株式会社