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J-GLOBAL ID：200903062426863848

多層反射膜

Inventor：
谷口 彬雄

About 谷口 彬雄

, 
村上 泰

About 村上 泰

, 
小山 俊樹

About 小山 俊樹


Applicant, Patent owner：
信州大学長

About 信州大学長


Agent (1)： 柳川 泰男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003083914
Publication number (International publication number)：2004294564
Application date： Mar. 25, 2003
Publication date： Oct. 21, 2004
Summary：
【課題】優れた光学特性を示すのみならず、高い耐傷性、高い機械的強度、そして優れた耐熱性をも示す多層反射膜を提供する。【解決手段】低屈折率膜として、内部に多数の微細空隙を含む非晶質二酸化ケイ素薄膜であって、屈折率(λ=500nm)が1.01乃至1.40の範囲にあり、微細空隙全体の80体積%以上を占める微細空隙の直径が5nm以下である非晶質二酸化ケイ素薄膜を用い、及び/又は、高屈折率膜として、内部に微細な空隙を含む非晶質金属酸化物薄膜であって、屈折率(λ=500nmの光の屈折率)が1.8以上であり、微細空隙全体の80体積%以上を占める微細空隙の直径が5nm以下である非晶質金属酸化物薄膜を用いて、これらを交互に基板上に積層した多層反射膜。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
透明でかつ、内部に多数の微細空隙を含む非晶質二酸化ケイ素薄膜であって、屈折率(λ=500nmの光の屈折率)が1.01乃至1.40の範囲にあり、微細空隙全体の80体積%以上を占める微細空隙の直径が5nm以下である非晶質二酸化ケイ素薄膜と、透明でかつ、屈折率(λ=500nmの光の屈折率)が1.5以上の非晶質金属酸化物薄膜とが交互に基板上に積層されてなる多層反射膜。
IPC (3)：
G02B5/08 ,  G02B5/26 ,  G02B5/28
FI (3)：
G02B5/08 A ,  G02B5/26 ,  G02B5/28
F-Term (34)：
2H042DA08 ,  2H042DC01 ,  2H048FA05 ,  2H048FA07 ,  2H048FA15 ,  2H048FA24 ,  2H048GA04 ,  2H048GA11 ,  2H048GA33 ,  2H048GA60 ,  4G047CA02 ,  4G047CB06 ,  4G047CC03 ,  4G047CD02 ,  4G072AA28 ,  4G072BB09 ,  4G072BB13 ,  4G072CC05 ,  4G072GG02 ,  4G072HH30 ,  4G072KK15 ,  4G072KK17 ,  4G072LL11 ,  4G072MM36 ,  4G072NN21 ,  4G072RR05 ,  4G072TT30 ,  4G076AA02 ,  4G076AB13 ,  4G076BA14 ,  4G076BA23 ,  4G076CA10 ,  4G076CA19 ,  4G076FA01
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (8)
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