電解イオン水生成装置、電解イオン水生成方法及び洗浄方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner： ,
Agent (1)：竹村壽
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997250120
Publication number (International publication number)：1999077049
Application date： Sep. 01, 1997
Publication date： Mar. 23, 1999
Summary：

【要約】【課題】金属が電解水に溶け出さない電極を備え特性的に安定したアルカリ性水を生成し、しかも酸性水の生成量とほぼ等しいアルカリ性水の生成量がえられる電解イオン水生成装置及び方法及びこの装置により生成されたイオン水、とくにアルカリ性水を用いて半導体ウェーハなどを洗浄する方法を提供する。【解決手段】陽極4及び陰極5を備えた電気分解装置1にダミー陽極4′を設け、このダミー陽極と前記陰極とに電流を通電する。陽極と陰極とに電流を通電して純水を電気分解する時にダミー陽極と陰極にも電流を通電することにより、一方の陽極4には規定量の電流を流し他方の陰極5には過剰分の電流を流して電流バランスをとるとともに陰極の電解作用の活性化をはかることができるので酸性水とアルカリ性水の等量生成が可能になる。ダミー陽極-陰極間に通電される電流により水素ガスが多量に陰極に生成されるので電解作用が活性化される。

Claim (excerpt)：

陽極、陰極及びダミー陽極からなる電気分解用電極と、前記陽極が配置された陽極室と、前記陽極室とは隔壁によって隔てられ、前記陰極が配置された陰極室と、前記陰極室とは隔壁によって隔てられ、前記ダミー陽極が配置されたダミー陽極室と、前記陽極に正極が接続され、前記陰極に負極が接続された第1の電源と、前記ダミー陽極に正極が接続され、前記陰極に負極が接続された第2の電源とを備え、純水もしくは超純水を電気分解する場合において、前記第1の電源及び前記第2の電源に電源電流を通電することを特徴とする電解イオン水生成装置。

IPC (4)：

C02F 1/46 , C25B 9/00 301 , C25B 11/06 , H01L 21/304 341

FI (4)：

C02F 1/46 A , C25B 9/00 301 , C25B 11/06 B , H01L 21/304 341 L

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

イオン水生成器
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-276637 Applicant：株式会社ブリヂストン
2室型電解槽を使用する電解方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-052339 Applicant：ペルメレック電極株式会社
超純水製造供給装置及びその洗浄方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-016575 Applicant：オルガノ株式会社

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