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J-GLOBAL ID：200903062738430779

感放射線性樹脂組成物

Inventor：
大田 芳久

About 大田 芳久

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王 勇

About 王 勇

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田辺 隆喜

About 田辺 隆喜

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岩永 伸一郎

About 岩永 伸一郎


Applicant, Patent owner：
ジェイエスアール株式会社

About ジェイエスアール株式会社


Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997193367
Publication number (International publication number)：1998339947
Application date： Jul. 04, 1997
Publication date： Dec. 22, 1998
Summary：
【要約】【課題】 感放射線性酸発生剤として、高感度で、かつ溶剤溶解性の高い特定のジスルフォニルメタン誘導体を用いることにより、レジストの調製が容易で、保存安定性に優れるとともに、感度、解像度、パターン形状等にも優れたポジ型またはネガ型の感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 ポジ型組成物は、(A)フェニル-ビス(フェニルスルホニル)メタン、1,1-ビス(フェニルスルホニル)シクロペンテンあるいは1,1-ビス(フェニルスルホニル)シクロペンタンで代表されるジスルフォニルメタン誘導体および(B)(イ)酸解離性基含有樹脂または(ロ)アルカリ可溶性樹脂とアルカリ溶解性制御剤を含有し、ネガ型組成物は、前記(A)成分、(C)アルカリ可溶性樹脂および(D)架橋剤を含有する。
Claim (excerpt)：
(A)式(1)【化1】〔式(1)において、R1 およびR2 は相互に同一でも異なってもよく、炭素数1〜10の1価の非環式炭化水素基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数7〜20のアラルキル基またはヘテロ原子を有する炭素数1〜20の1価の他の有機基を示し、XおよびYは相互に同一でも異なってもよく、炭素数6〜20のアリール基、水素原子、炭素数1〜10の1価の非環式炭化水素基またはヘテロ原子を有する炭素数1〜20の1価の他の有機基を示し、かつXおよびYの少なくとも一方が炭素数6〜20のアリール基であるか、あるいはXとYが相互に連結して少なくとも1個の不飽和結合を有し、かつそれぞれの環を構成する炭素原子数が3〜10である炭素単環構造または炭素多環構造を形成しているか、あるいはXとYが相互に連結して式(2)【化2】{式(2)において、X’およびY’は相互に同一でも異なってもよく、かつ複数存在するX’およびY’はそれぞれ同一でも異なってもよく、水素原子、ハロゲン原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜20のアリール基または炭素数7〜20のアラルキル基を示すか、あるいは同一のもしくは異なる炭素原子に結合したX’とY’が相互に連結して環を構成する炭素原子数が3〜10である炭素単環構造を形成しており、nは2〜10の整数である。}で表される基を形成している。〕で表されるジスルフォニルメタン誘導体、並びに(B)(イ)酸解離性基で保護されたアルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の樹脂であって、該酸解離性基が解離したときにアルカリ可溶性となる樹脂、または(ロ)アルカリ可溶性樹脂およびアルカリ溶解性制御剤を含有することを特徴とするポジ型感放射線性樹脂組成物。
IPC (5)：
G03F 7/004 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/027
FI (5)：
G03F 7/004 503 A ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/039 601 ,  H01L 21/30 502 R
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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