感光性組成物およびこれを用いたパターン形成方法

Inventor： , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：鈴江武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994281802
Publication number (International publication number)：1996146607
Application date： Nov. 16, 1994
Publication date： Jun. 07, 1996
Summary：

【要約】【目的】極短波長光に対して、高感度、高解像性を有し、かつ、パターン形成のプロセスを通じて高い安定性を有する感光性組成物を提供する。【構成】アルカリ可溶性樹脂、酸により溶解性が変化する化合物、および、化学放射線の照射により酸を発生する化合物であって、下記化1に示す式(1)〜(3)で表わされる化合物からなる群から選択される少なくとも1種の化合物を含有する感光性組成物である。【化1】

Claim (excerpt)：

(a)アルカリ可溶性樹脂、(b)酸により溶解性が変化する化合物、および(c)化学放射線の照射によって酸を発生する化合物であって、下記化1に示す一般式(1)、(2)、および(3)で表わされる化合物からなる群から選択された少なくとも一種の化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。【化1】(上記一般式中、Aは、少なくとも5つの共役二重結合を有する多環芳香環であり、Zは、塩素原子、臭素原子、またはヨウ素原子である。R1 は、水素原子;炭素数が6以下の炭化水素基;または、ハロゲン原子、ニトロ基、およびシアノ基からなる群より選ばれた少なくとも1種によって置換された炭化水素基を示し、Bは、置換されたまたは未置換の、少なくとも5つの共役二重結合を有する多環芳香環、シクロアルカン類、および鎖状アルカンである。また、Xは、CF3SO3 、SbF6 、BF4 、またはPF6 である。R2 、およびR3 は、各々同一であっても異なっていてもよく、水素原子;ハロゲン原子;ニトロ基;シアノ基;炭素原子数が6以下の炭化水素基;ハロゲン原子、ニトロ基、およびシアノ基からなる群より選択された少なくとも1種によって置換された炭化水素を示す。)

IPC (6)：

G03F 7/039 501 , C08F 2/50 MDN , G03F 7/004 501 , G03F 7/004 503 , H01L 21/027 , C08L101/00 LTB

FI (2)：

H01L 21/30 502 R , H01L 21/30 568

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

ポジ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-299093 Applicant：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-314527 Applicant：日立化成工業株式会社
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-188327 Applicant：株式会社東芝

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Cited by examiner (4)

ポジ型感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-299093 Applicant：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物及びこれを用いた積層体
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-314527 Applicant：日立化成工業株式会社
感光性組成物
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-188327 Applicant：株式会社東芝

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