開放気孔型多孔体の製造方法

Inventor： , , , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：堀田実 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995191401
Publication number (International publication number)：1997040478
Application date： Jul. 27, 1995
Publication date： Feb. 10, 1997
Summary：

【要約】【課題】傾斜化された開放気孔型多孔積層体への微細孔層の形成を均一かつ安定にするとともに、その粒子の配置などの最適化を図ることができる開放気孔型多孔体の製造方法を提供する。【解決手段】細孔径が表面に向かって順次小さくなるように傾斜化された開放気孔型多孔積層体の表面に微細孔膜または表面から僅かな深さに渡って微細孔層を有する開放気孔型多孔体の製造方法であって、その開放気孔型多孔積層体の表面に、気相化学反応法、真空蒸着法、イオンプレーティング法およびスパッタリング法のいずれかのうち少なくとも1つの方法で薄膜または表層を形成することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

細孔径が表面に向かって順次小さくなるように傾斜化された開放気孔型多孔積層体の表面に微細孔膜または表面から僅かな深さに渡って微細孔層を有する開放気孔型多孔体の製造方法であって、その開放気孔型多孔積層体の表面に、気相化学反応法、真空蒸着法、イオンプレーティング法およびスパッタリング法のいずれかのうち少なくとも1つの方法で薄膜または表層を形成することを特徴とする開放気孔型多孔体の製造方法。

IPC (2)：

C04B 38/00 304 , C04B 41/87

FI (2)：

C04B 38/00 304 Z , C04B 41/87 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (9)

多孔質セラミックス膜、これを用いたガス分離膜、及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-050191 Applicant：住友電気工業株式会社
特開平1-286979
耐熱部材及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-302264 Applicant：三菱マテリアル株式会社

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