半導体装置の作製方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994232411
Publication number (International publication number)：1996078694
Application date： Aug. 31, 1994
Publication date： Mar. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】最高プロセス温度700°C以下で形成される薄膜トランジスタ(TFT)の特性・信頼性を向上せしめる方法を提供する。【構成】結晶性珪素膜を熱酸化させ、生じた酸化物によってTFTのゲイト絶縁膜等を形成する。このとき、基板等に熱的なダメージを与えないように、500〜700°Cの温度で熱酸化をおこない、酸化気体として紫外線によって発生させた原子状酸素もしくはオゾンを含有する反応性酸素を用いる。2〜10気圧の高圧の窒素酸化物雰囲気中で加熱することによって酸化反応を促進させてもよい。このようにして得られた熱酸化膜をゲイト絶縁膜として用いることによってホットエレクトロン等の注入による劣化を防止し、素子の信頼性を高める。

Claim (excerpt)：

絶縁表面を有する基板上に、珪素を主成分とする被膜(以下、単に珪素膜という)を形成する第1の工程と、前記珪素膜を選択的にエッチングすることによって、島状の領域を形成する第2の工程と、紫外光の照射によって得られた反応性の酸素、オゾンもしくは窒素酸化物の少なくとも1つを含む雰囲気において400〜700°Cの温度に加熱することによって、前記島状領域を覆って、酸化珪素を主成分とする被膜(以下、単に酸化膜という)を形成する第3の工程と、前記酸化膜上にゲイト電極を形成する第4の工程と、を有することを特徴とする半導体装置の作製方法。

IPC (3)：

H01L 29/786 , H01L 21/336 , H01L 21/316

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (8)

特開平4-326731
半導体装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-319624 Applicant：株式会社日立製作所
特開平4-152624

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Cited by examiner (9)

特開平4-326731
特開平4-326731
半導体装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-319624 Applicant：株式会社日立製作所

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