スタンパーの製造方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993308224
Publication number (International publication number)：1995161080
Application date： Dec. 08, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】グルーブとランドの境界の側壁表面粗さを低減して、ノイズレベルが低く、かつ、耐久性に優れた光ディスク用のスタンパーの製造方法を提供する。【構成】原盤素材として合成石英を用い、CHF3 を腐食ガスとして、ガス圧0.5 Pa未満、自己バイアス電圧 500V以下で反応性イオンエッチングを行う。

Claim (excerpt)：

原盤にレジストを塗布する工程、レーザー光により前記レジストを露光する工程、現像処理を行う工程、反応性イオンエッチングにより前記原盤をエッチングする工程、及び残留した前記レジストを剥離する工程より成るスタンパーの製造方法において、前記原盤素材を合成石英とし、前記反応性イオンエッチングにおける腐食ガスをCHF3 、ガス圧を 0.5 Pa 未満、及び自己バイアス電圧を 500V以下とすることを特徴とするスタンパーの製造方法。

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

特開平4-241237
特開昭60-147946
特開平1-205744

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