共焦点光学系

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (2)：大中実 , 喜多俊文
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006230369
Publication number (International publication number)：2008052177
Application date： Aug. 28, 2006
Publication date： Mar. 06, 2008
Summary：

【課題】本発明は、Z軸の機械的駆動なくし、かつ光学収差もない共焦点光学系を有するレーザ顕微鏡を提供する。【解決手段】本発明では、半導体レーザ1のレーザ光は、ピンホール3を通過するように集光レンズ2で集光される。ピンホール3から出たレーザ光は広がりながら、X、Y、Z方向走査用液晶ゾーンプレート5を通過した後、対物レンズ6に入射する。対物レンズ2から出射する光は3次元的に試料表面を走査される。レーザ光は、同一光学系を通ってビームスプリッタ4で90度に反射して、ピンホール8に集光され、光センサ9に入る。このとき試料表面に焦点が一致したときにのみピンホール9を通過することになるので、XYZ走査した表面上のピントのあったところの位置を知ることができる。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

サンプル面上に照射されたビームスポットからの反射/散乱光を光学系の結像面に置かれたピンホールを通して検出する共焦点光学系であって、光学系が、少なくとも照射系のピンホールから出た光を結像する結像レンズ、結像したコリメート光を試料に照射する対物レンズ、試料からの反射/散乱光を前記対物レンズ、結像レンズを通過した後、検出系のピンホールに通過させるビームスプリッタからなり、前記結像レンズがフレネルゾーンプレートであることを特徴とする共焦点光学系。

IPC (1)：

G02B 21/00

FI (1)：

G02B21/00

F-Term (24)：

2F065AA04 , 2F065DD02 , 2F065FF01 , 2F065FF10 , 2F065GG06 , 2F065HH04 , 2F065HH13 , 2F065JJ01 , 2F065JJ09 , 2F065LL04 , 2F065LL10 , 2F065LL30 , 2F065LL46 , 2F065MM03 , 2F065PP12 , 2F065UU07 , 2H052AA08 , 2H052AB01 , 2H052AB24 , 2H052AC15 , 2H052AC27 , 2H052AC29 , 2H052AC34 , 2H052AF02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

共焦点レーザ顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-053449 Applicant：横河電機株式会社
光学顕微鏡
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平9-104437 Applicant：三洋電機株式会社
立体形状計測装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-275060 Applicant：株式会社高岳製作所

Cited by examiner (8)

広範囲な拡大率を具備した走査ビーム型レーザー顕微鏡
Gazette classification：公表公報 Application number：特願平7-508367 Applicant：ディクソンアーサー・エドワード
特開昭63-249125
特開昭63-249125

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