立体形状計測装置

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995275060
Publication number (International publication number)：1997096512
Application date： Sep. 29, 1995
Publication date： Apr. 08, 1997
Summary：

【要約】【課題】本発明は、焦点位置変化のための機械的な可動部をもたない、コンパクトで高速なの立体形状測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】共焦点光学系2とその像を光電変換する光電センサ3とよりなる共焦点撮像系1と、共焦点撮像系1の焦点位置を電気光学効果を利用して変化させる焦点位置変化手段4と、共焦点撮像系1と焦点位置変化手段4とから得られた焦点位置の異なる複数枚の画像から、画像の濃度情報を用いて、画像の焦点位置間隔を超える精度で画像各点の合焦位置を求めることで物体の立体形状を演算する画像処理装置6とにより構成する。

Claim (excerpt)：

物体の立体形状を光学的に計測する装置において、共焦点光学系と共焦点光学系により得られる2次元光学像を光電変換する2次元光電センサとより構成された共焦点撮像系と、電気光学効果を利用して前記光学系の焦点位置を電気的に変化させる焦点位置変化手段と、前記共焦点撮像系と前記焦点位置変化手段とにより得られた焦点位置の異なる複数の画像を取り込み、焦点位置の変化に対応して変化する画像各点の濃度値から、取り込まれた画像の焦点位置間隔を超える精度で、濃度値の最大値を与える焦点位置を内挿処理を用いて画像各点毎に推定し、推定した焦点位置をその点の高さとする処理を実行する画像処理装置とから構成されることを特徴とする立体形状計測装置。

IPC (3)：

G01B 11/24 , G06F 17/17 , G06T 7/00

FI (3)：

G01B 11/24 C , G06F 15/353 , G06F 15/62 415

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開平4-265918
特開平3-063507
被検面の曲率半径測定方法及び装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-344031 Applicant：株式会社リコー

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