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J-GLOBAL ID：200903063612768428
酸化亜鉛膜の製造方法
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003083050
Publication number (International publication number)：2004292839
Application date： Mar. 25, 2003
Publication date： Oct. 21, 2004
Summary：
【課題】電子密度を制御することができる酸化亜鉛膜の製造方法を提供する。【解決手段】成膜室で、ドーパントとして第3族元素またはその酸化物を用いて酸化亜鉛を被成膜材料に付着させて酸化亜鉛膜を製造する。このとき、予め把握した酸化亜鉛膜の電子密度と成膜室の酸素分圧の関係に基づいて、酸素分圧を調整して所定の電子密度を得る。また、所定の電子密度が8×1020/cm3以上の範囲において、電子密度と酸素分圧の負相関式に基づいて酸素分圧を調整する。【選択図】 なし
Claim (excerpt)：
成膜室で、ドーパントとして第3族元素またはその酸化物を用いて酸化亜鉛を被成膜材料に付着させて酸化亜鉛膜を形成する酸化亜鉛膜の製造方法において、
予め把握した酸化亜鉛膜の電子密度と成膜室の酸素分圧の関係に基づいて、酸素分圧を調整して所定の電子密度を得ることを特徴とする酸化亜鉛膜の製造方法。
IPC (2)：
FI (2)：
C23C14/08 C
, C23C14/32 Z
4G059AA08
, 4G059AC12
, 4G059EA01
, 4G059EB03
, 4K029AA09
, 4K029BA49
, 4K029BC09
, 4K029CA03
, 4K029EA05
Cited by examiner (2)
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透明導電薄膜の製造方法
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平4-161662
Applicant：東燃株式会社
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成膜方法及び成膜装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願2001-033727
Applicant：住友重機械工業株式会社
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