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J-GLOBAL ID：200903063892121475

電極、固体素子およびそれを用いた装置

Inventor：
杉野 隆

About 杉野 隆

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楠原 昌樹

About 楠原 昌樹

, 
梅田 優

About 梅田 優


Applicant, Patent owner：
株式会社渡邊商行

About 株式会社渡邊商行

, 
杉野 隆

About 杉野 隆


Agent (1)： 福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002276386
Publication number (International publication number)：2004119017
Application date： Sep. 20, 2002
Publication date： Apr. 15, 2004
Summary：
【目的】従来のBN薄膜の優れた特性を劣化させることなく、耐水性にとみ、クラックや膜の剥離が抑制された薄膜をを提供すること。【手段】本発明の電極、固体素子は0.15以上の炭素組成比を有するホウ素炭素窒素膜またはホウ素炭素窒素酸素膜を有する事を特徴とする。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
0.15以上の炭素組成比を有するホウ素炭素窒素膜またはホウ素炭素窒素酸素膜を有する事を特徴とする電極、固体素子。
IPC (13)：
H01J1/304 ,  C01B21/082 ,  C23C16/38 ,  G01N23/227 ,  H01J11/02 ,  H01J23/06 ,  H01J29/04 ,  H01J31/12 ,  H01J37/073 ,  H01J63/06 ,  H01L21/28 ,  H01L29/26 ,  H01L29/417
FI (13)：
H01J1/30 F ,  C01B21/082 Z ,  C23C16/38 ,  G01N23/227 ,  H01J11/02 B ,  H01J23/06 ,  H01J29/04 ,  H01J31/12 C ,  H01J37/073 ,  H01J63/06 ,  H01L21/28 301Z ,  H01L29/26 ,  H01L29/50 Z
F-Term (43)：
2G001AA03 ,  2G001BA09 ,  4K030AA03 ,  4K030AA09 ,  4K030AA18 ,  4K030BA36 ,  4K030BA38 ,  4K030BA49 ,  4K030BB13 ,  4K030CA04 ,  4K030FA10 ,  4K030LA15 ,  4K030LA18 ,  4M104AA01 ,  4M104BB36 ,  4M104BB37 ,  4M104BB39 ,  4M104DD43 ,  4M104GG04 ,  4M104HH08 ,  4M104HH20 ,  5C029DD01 ,  5C030CC10 ,  5C031DD17 ,  5C031DD20 ,  5C036EE14 ,  5C036EF01 ,  5C036EF06 ,  5C036EF09 ,  5C036EG12 ,  5C036EH11 ,  5C039MM01 ,  5C040FA01 ,  5C040FA02 ,  5C040KB01 ,  5C040KB18 ,  5C040MA22 ,  5C135AA09 ,  5C135AB15 ,  5C135AB16 ,  5C135AB17 ,  5C135HH15 ,  5C135HH16
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)
  • 電子放出装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平11-373703   Applicant：杉野隆, 株式会社渡邊商行
  • 電子放出装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-199489   Applicant：杉野隆, 株式会社渡邊商行
Article cited by the Patent：
Cited by examiner (1)

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