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J-GLOBAL ID：200903030451928963

電子放出装置

Inventor： 杉野 隆 ,  楠原 昌樹 ,  梅田 優
Applicant, Patent owner： 杉野 隆 ,  株式会社渡邊商行
Agent (1)： 福森 久夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999373703
Publication number (International publication number)：2001185021
Application date： Dec. 28, 1999
Publication date： Jul. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、付着性を向上させ、従来技術を基礎として作製できるホウ素、炭素、窒化を基盤材料とした電子放出装置を提供する。【解決手段】 シリコン基板1上に電気的に接続してホウ素(組成比x)、炭素(組成比y)、窒素(組成比z)を含む組成比が0≦x<1、0<y≦1、0≦z<1の領域(窒化ホウ素炭素薄膜2)が少なくとも1層以上あり、表面に露出して組成比が0≦x<1、0≦y≦1、0≦z<1の薄膜(窒化ホウ素炭素薄膜3)があり、前記薄膜に電気的に絶縁して引き出し電極5が設けられ、前記薄膜に対向して引き出し電極5と空間をもってアノード電極7を設けた。

Claim (excerpt)：

導体または半導体基板上に電気的に接続してホウ素(組成比x)、炭素(組成比y)、窒素(組成比z)を含む組成比が0≦x<1、0<y≦1、0≦z<1の領域が少なくとも1層以上あり、表面に露出して組成比が0≦x<1、0≦y≦1、0≦z<1の薄膜があり、前記薄膜に電気的に絶縁して第1の金属体が設けられ、前記薄膜に対向して前記第1の金属体と空間をもって第2の金属体を設けたことを特徴とする電子放出装置。

IPC (2)：

H01J 1/304 ,  H01J 1/30

FI (2)：

H01J 1/30 F ,  H01J 1/30 D

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 電界放出型陰極
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-051804   Applicant：新日本無線株式会社
• 電界放出型陰極
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-062318   Applicant：新日本無線株式会社
• 電子放出素子および画像表示装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-251976   Applicant：松下電器産業株式会社
• 電子放出素子
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-009911   Applicant：松下電器産業株式会社