光学的表面特性の検査装置および検査方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (4)：志賀正武 , 渡邊隆 , 村山靖彦 , 実広信哉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005206139
Publication number (International publication number)：2006030203
Application date： Jul. 14, 2005
Publication date： Feb. 02, 2006
Summary：

【課題】立体角をわずかに変えて観察した際に表面塗装に生じる変化も表面特性検査の際に分解できるようにすることである。【解決手段】本発明は、表面の光学的特性を検査するための装置に関するものであり、所与の第1立体角で検査表面に光を照射する、少なくとも一つの第1照射装置を備え、表面に照射され、そこから反射して戻ってきた光を補足するための少なくとも一つの第1検出装置を備え、このとき第1検出装置は位置分解して光を検出することができ、所与の第2の立体角で表面に対して配置されており、少なくとも一つのさらなる照射装置または第2検出装置を備え、これは所与の第3の立体角で光を検査表面に照射するか、または表面に照射されてここから反射して戻ってきた光を検出する。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

光学的表面特性を検査する装置において、所与の第1立体角で光を検査表面(3)に照射する、少なくとも一つの第1照射装置(15)を備え、表面に照射され、ここから反射した光を捕捉するための少なくとも一つの第1検出装置(7)を備え、その際、第1検出装置(7)は位置分解して光を検出でき、所与の第2立体角で表面(3)に配置されており、少なくとも一つのさらなる照射装置(19)または検出装置を備え、これは、光を検査表面(3)に照射するかまたは表面に照射されここから反射した光を検出することを特徴とする光学的表面特性を検査する装置。

IPC (7)：

G01N 21/84 , G01J 1/02 , G01J 3/46 , G01J 3/51 , G01N 21/27 , G01N 21/47 , G01N 21/57

FI (7)：

G01N21/84 E , G01J1/02 T , G01J3/46 Z , G01J3/51 , G01N21/27 B , G01N21/47 Z , G01N21/57

F-Term (37)：

2G020AA08 , 2G020DA05 , 2G020DA06 , 2G020DA13 , 2G020DA22 , 2G020DA31 , 2G020DA52 , 2G051AA89 , 2G051AB12 , 2G051BA01 , 2G051BA08 , 2G051BB01 , 2G051BB07 , 2G051CA01 , 2G051CA04 , 2G051CA07 , 2G051CB01 , 2G051CC07 , 2G059AA02 , 2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059EE02 , 2G059EE12 , 2G059FF06 , 2G059GG03 , 2G059HH02 , 2G059JJ05 , 2G059JJ26 , 2G059KK01 , 2G059KK03 , 2G059KK04 , 2G065AA02 , 2G065AB04 , 2G065AB22 , 2G065BA04 , 2G065BB28 , 2G065DA08

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (11)

反射体の特性を決定する装置及びその方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2002-137514 Applicant：ビック-ガルトナー・ゲーエムベーハー
外観検査装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2000-325137 Applicant：本田技研工業株式会社
反射特性測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願2001-267255 Applicant：ミノルタ株式会社, 関西ペイント株式会社

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