アクティブマトリックスディスプレイとその製造方法

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村稔 (外6名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997534601
Publication number (International publication number)：2000505602
Application date： Mar. 26, 1997
Publication date： May. 09, 2000
Summary：

【要約】アクティブマトリックスディスプレイ(10)を含むトランジスタを組み込んだマトリックス装置の欠陥を減らし、性能を強化するための反転ゲート薄膜マトリックストランジスタ(46)を含む、改良された多層マトリックスライン(34)。反転ゲートラインは、ゲート構造のための、第1底部耐熱層(124)、アルミニウム層(126)、第2耐熱層(128)のパターン付けの前に、順次蒸着された多層金属構造内に形成される。アルミニウム層は、段差カバレッジ問題を防ぐためにゲート近傍で陽極処理される。多層ゲート構造を使ってアクティブマトリックスディスプレイストレージコンデンサー(50)を形成すれば更に改良できる。

Claim (excerpt)：

基板上に第1耐熱金属層を形成し、前記第1層の上にアルミニウム層を形成し、前記アルミニウム層の上に第2耐熱金属層を形成することを含む、絶縁基板上に多層ゲートを形成することと、前記ゲートを形成するために前記第2耐熱金属層をパターン付けすることと、続く層における段差カバレッジ問題を防ぐために前記アルミニウム層を陽極処理することと、前記第1耐熱金属層を陽極処理することを特徴とする、改良された反転ゲート薄膜マトリックストランジスターを製造する方法。

IPC (4)：

H01L 29/786 , G02F 1/1365 , G09F 9/30 338 , H01L 21/336

FI (4)：

H01L 29/78 617 L , G09F 9/30 338 , H01L 29/78 617 W , G02F 1/136 500

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

薄膜トランジスタ及びその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-176104 Applicant：カシオ計算機株式会社
平板表示装置およびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-097389 Applicant：三星電子株式会社
液晶表示装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-303424 Applicant：日本電気株式会社

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