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J-GLOBAL ID：200903064681484276

石英ガラス中に含まれる微量OH基濃度の測定方法

Inventor： 落合 秀典 ,  福井 靖 ,  池田 享 ,  柳沼 智満 ,  オリウァ・フンバッハ ,  ラルフ・サットマン
Applicant, Patent owner： 信越石英株式会社 ,  ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト
Agent (1)： 服部 平八
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000132774
Publication number (International publication number)：2001318051
Application date： May. 01, 2000
Publication date： Nov. 16, 2001
Summary：

【要約】【目的】石英ガラス体中の微量OH基濃度を、簡易に、精度よく測定する方法を提供すること。【解決手段】赤外線分光光度法による石英ガラス中のOH基濃度測定において、測定用石英ガラス体とOH基含有量が既知であるブランク用石英ガラス体から、向かい合った2 平面を有する測定用試験片とブランク用試験片を各々作製し、赤外線分光光度計に設置し、前記向かい合った2平面の一方の面に垂直に略2500nm〜略2950nm域の赤外線を順次入射すると同時に他方の面から出射光を検出し、各々の試験片の出射光スペクトルの差スペクトルを求め、2720nmのOH基吸収ピークを選択し、そのピーク高さから数式1【数1】Csample=Cblank+ΔA/Lε×(MH+MO)/ρ×103(但し、式中、Csampleは測定用試験片中のOH基濃度(wt・ppm)、Cblankはブランク用試験片中のOH基濃度(wt・ppm)、ΔAはピーク高さ(ABS.)、Lは光路長(cm)、εは吸光係数(l・mol-1・cm-1)、MHは水素の原子量、MOは酸素の原子量、ρは石英ガラスの密度(g・cm-3)である。)を用いて算出することを特徴とする石英ガラス中の微量OH基濃度の測定方法。

Claim (excerpt)：

赤外線分光光度法による石英ガラス中のOH基濃度測定において、測定用石英ガラス体とOH基含有量が既知であるブランク用石英ガラス体から、向かい合った2平面を有する測定用試験片とブランク用試験片を各々作製し、赤外線分光光度計に設置し、前記向かい合った2平面の一方の面に垂直に略2500nm〜略2950nm域の赤外線を順次入射すると同時に他方の面から出射光を検出し、各々の試験片の出射光スペクトルの差スペクトルを求め、2720nmのOH基吸収ピークを選択し、そのピーク高さから数式1【数1】Csample=Cblank+ΔA/Lε×(MH+MO)/ρ×103(但し、式中、Csampleは測定用試験片中のOH基濃度(wt・ppm)、Cblankはブランク用試験片中のOH基濃度(wt・ppm)、ΔAはピーク高さ(ABS.)、Lは光路長(cm)、εは吸光係数(l・mol-1・cm-1)、MHは水素の原子量、MOは酸素の原子量、ρは石英ガラスの密度(g・cm-3)である。)を用いて算出することを特徴とする石英ガラス中の微量OH基濃度の測定方法。

IPC (2)：

G01N 21/35 ,  G01M 11/00

FI (2)：

G01N 21/35 Z ,  G01M 11/00 G

F-Term (14)：

2G059AA01 ,  2G059BB08 ,  2G059BB15 ,  2G059CC20 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF08 ,  2G059HH01 ,  2G059HH06 ,  2G059KK01 ,  2G059LL02 ,  2G059LL03 ,  2G059MM01 ,  2G086AA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (5)

• 光学材料の成分濃度分布測定方法および光透過率分布測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-083508   Applicant：株式会社ニコン
• 高純度透明石英ガラスおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-253576   Applicant：東ソー株式会社, 日本石英硝子株式会社
• 紫外線パルスレーザ光に対する透過率測定方法及び測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-237936   Applicant：株式会社ニコン
• 真空紫外線用光学材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-252183   Applicant：東ソー株式会社, 山口日本石英株式会社, 日本石英硝子株式会社
• 合成石英ガラス光学部材およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-171746   Applicant：旭硝子株式会社

Cited by examiner (5)

• 光学材料の成分濃度分布測定方法および光透過率分布測定方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-083508   Applicant：株式会社ニコン
• 高純度透明石英ガラスおよびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-253576   Applicant：東ソー株式会社, 日本石英硝子株式会社
• 紫外線パルスレーザ光に対する透過率測定方法及び測定装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平9-237936   Applicant：株式会社ニコン
• 真空紫外線用光学材料
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-252183   Applicant：東ソー株式会社, 山口日本石英株式会社, 日本石英硝子株式会社
• 合成石英ガラス光学部材およびその製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平10-171746   Applicant：旭硝子株式会社

Article cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 分光技術ハンドブック, 19901020, PAGE.108-111

Cited by examiner (2)

• 分光技術ハンドブック, 19901020, PAGE.108-111
• 分光技術ハンドブック, 19901020, PAGE.108-111