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J-GLOBAL ID:200903064765066704
表示パネル及びその製造方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
杉村 次郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998375271
Publication number (International publication number):2000180896
Application date: Dec. 15, 1998
Publication date: Jun. 30, 2000
Summary:
【要約】【課題】 アクティブマトリクス型の液晶表示パネルにおいて、走査線と信号線との交差部における信号線に断線が生じないようにする。【解決手段】 走査線2と信号線3との平面ほぼL字状の交差部における両線2、3間には、ゲート絶縁膜12、真性アモルファスシリコン層21、窒化シリコンからなる線間絶縁膜22及びn+シリコン層23がこの順で設けられている。このようにすると、線間絶縁膜22の走査線2のエッジ部に起因する段差部22bの部分における信号線3に断線が生じないようにすることができる。これに対し、両線2、3間に、ゲート絶縁膜12、真性アモルファスシリコン層21及び線間絶縁膜22をこの順で設けた場合には、当該段差部22bの部分における信号線3に断線が生じることがある。
Claim (excerpt):
基板上に設けられた下層配線上に層間絶縁膜を介して上層配線が前記下層配線と交差して設けられ、前記基板上に画素電極が前記両配線にスイッチング素子を介して接続されて設けられた表示パネルにおいて、前記両配線の交差部における前記層間絶縁膜と前記上層配線との間に真性半導体層、線間絶縁膜及びn型半導体層を設けたことを特徴とする表示パネル。
IPC (3):
G02F 1/136 500
, G09F 9/30 338
, H01L 29/786
FI (3):
G02F 1/136 500
, G09F 9/30 338
, H01L 29/78 612 A
F-Term (28):
2H092GA17
, 2H092GA25
, 2H092JA24
, 2H092JA34
, 2H092JA37
, 2H092JA47
, 2H092KA05
, 2H092KA24
, 2H092MA17
, 2H092NA15
, 5C094AA32
, 5C094BA03
, 5C094BA43
, 5C094DA15
, 5C094FB14
, 5C094GB01
, 5F110AA18
, 5F110AA30
, 5F110CC07
, 5F110GG02
, 5F110GG15
, 5F110GG35
, 5F110HK07
, 5F110HK09
, 5F110HM18
, 5F110NN03
, 5F110NN12
, 5F110NN24
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (11)
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特開昭61-003459
-
特開昭61-051972
-
特開昭62-126677
-
特開昭62-280890
-
特開昭63-005378
-
特開平2-013928
-
特開平2-019840
-
特開平2-020831
-
特開平4-236429
-
薄膜トランジスターのアレイ構造
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-001845
Applicant:エルジー電子株式会社
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薄膜トランジスタアレイの製造方法
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平5-332068
Applicant:カシオ計算機株式会社, 沖電気工業株式会社
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