走査型プローブ顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：蛭川昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998356799
Publication number (International publication number)：2000180457
Application date： Dec. 15, 1998
Publication date： Jun. 30, 2000
Summary：

【要約】【課題】走査速度を落とさず、安定した凹凸像とリフト像が得られるようにする。【解決手段】カンチレバーを試料に接近させて走査し試料表面の凹凸像を観察する凹凸像観察モードと、カンチレバーをリフトアップして走査し試料表面の磁気モーメントを測定するリフト像観察モードの走査方式を有する走査型プロープ顕微鏡において、像観察後の帰りの走査を利用してヒステリシスを最小化するようにしたものである。

Claim (excerpt)：

カンチレバーを試料に接近させて走査し試料表面の凹凸像を観察する凹凸像観察モードと、カンチレバーをリフトアップして走査し試料表面の磁気モーメントを測定するリフト像観察モードの走査方式を有する走査型プロープ顕微鏡において、像観察後の帰りの走査方式を変更し、該変更した走査方式により次の観察を行うことを特徴とする走査型プロープ顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 , G01B 7/34 , G01B 21/30

FI (5)：

G01N 37/00 U , G01N 37/00 F , G01N 37/00 M , G01B 7/34 Z , G01B 21/30 Z

F-Term (23)：

2F063AA43 , 2F063CA11 , 2F063DA01 , 2F063DA04 , 2F063DB02 , 2F063DB05 , 2F063DD02 , 2F063EA16 , 2F063EB01 , 2F063EB23 , 2F063GA57 , 2F069AA60 , 2F069AA99 , 2F069DD15 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG62 , 2F069HH04 , 2F069HH30 , 2F069JJ06 , 2F069JJ26 , 2F069LL03 , 2F069MM04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

形状を除く表面のパラメータを正確に測定し、または形状に関連した仕事を行うための方法および相互作用装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平5-298454 Applicant：ディジタルインストルメンツ,インコーポレイテッド
表面情報分離測定装置
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平4-329408 Applicant：オリンパス光学工業株式会社
走査型プローブ顕微鏡及びそれによる像測定方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平7-123126 Applicant：キヤノン株式会社

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