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J-GLOBAL ID：200903012158493466

走査型プローブ顕微鏡及びそれによる像測定方法

Inventor：
日下 貴生

About 日下 貴生


Applicant, Patent owner：
キヤノン株式会社

About キヤノン株式会社


Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995123126
Publication number (International publication number)：1996292196
Application date： Apr. 24, 1995
Publication date： Nov. 05, 1996
Summary：
【要約】【目的】本発明は、高速かつ安全に像測定のできる走査型プローブ顕微鏡及びそれによる像測定方法を提供することを目的とするものである。【構成】本発明は上記目的を達成するために、探針を試料表面に接近させ走査し、前記探針と前記試料表面の間に生じる物理量を利用して前記試料表面の形状を測定する走査型プローブ顕微鏡を、少なくとも前記探針の位置情報を記録する測定値格納部と、前記探針の試料表面の面方向における同一X方向ラインの往路と復路の走査により得られる情報を比較しその差をなくす処理を行うデータ処理部と、前記データ処理されたデータに基づいて探針の移動を行う帰還回路で構成し、従来の測定手段よりも高速かつ安全に測定できるようにしたものである。
Claim (excerpt)：
探針を試料表面に接近させ走査し、前記探針と前記試料表面の間に生じる物理量を利用して前記試料表面の形状を測定する走査型プローブ顕微鏡において、前記探針の位置情報を記録する測定値格納部と、前記探針の試料表面の面方向における同一X方向ラインの往路と復路の走査により得られる情報を比較しその差の補正処理を行うデータ処理部と、前記データ処理されたデータに基づいて探針の移動を行う帰還回路とを有することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3)：
G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  H01J 37/28
FI (3)：
G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z ,  H01J 37/28 Z
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (5)
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