Pat
J-GLOBAL ID：200903065029464669
BaLiF3結晶体の熱処理方法。
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006141073
Publication number (International publication number)：2007308349
Application date： May. 22, 2006
Publication date： Nov. 29, 2007
Summary：
【課題】液浸式露光装置のラストレンズ等として有用なBaLiF3結晶体を融液成長法で製造する際に、結晶体中に多量に生じる場合が多いLiFの析出を、結晶体中から効率的に除去し、結晶体の透明性を向上する。【解決手段】BaLiF3結晶体が最も高温にされたときの温度分布態が、以下の(1)〜(3)の条件をすべて満足する温度勾配を有する状態になるように熱処理を行う。(1)一方の表面部とその反対側の表面部とで少なくとも10°C以上の温度差、好ましくは20〜70°Cの範囲の温度差を有する(2)高温側表面部の温度が857°C未満、好ましくは855°C以下、特に850°C以下(3)低温側表面部の温度が775°Cよりも高く、好ましくは780°C以上、さらには785°C以上、特に790°C以上【選択図】図3
Claim (excerpt)：
BaLiF3結晶体を熱処理する方法であって、該結晶体が最も高温にされたときの温度分布態が、以下の(1)〜(3)の条件を満足する温度勾配を有する状態となるように行うことを特徴とするBaLiF3結晶体の熱処理方法。
(1)一方の表面部とその反対側の表面部とで少なくとも10°C以上の温度差を有する
(2)高温側表面部の温度が857°C未満
(3)低温側表面部の温度が775°Cよりも高い
IPC (5)：
C30B 29/12
, C30B 33/02
, C30B 15/00
, G02B 1/02
, H01L 21/027
C30B29/12
, C30B33/02
, C30B15/00 Z
, G02B1/02
, H01L21/30 515D
4G077AA02
, 4G077BE02
, 4G077CF10
, 4G077EC08
, 4G077FE12
, 4G077HA01
, 5F046BA03
, 5F046CB12
, 5F046CB24
